【摘 要】
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为配合微小型技术的进展,国外提出一种新型薄膜晶体管,其工艺和结构均与一般薄膜元件很相近,因而可将晶体管和阻容元件都做在同一基片上.据初步试用结果,用之作振荡器,频率
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为配合微小型技术的进展,国外提出一种新型薄膜晶体管,其工艺和结构均与一般薄膜元件很相近,因而可将晶体管和阻容元件都做在同一基片上.据初步试用结果,用之作振荡器,频率可用到17兆赫.其电性能与五极管近似.从原理上讲这种晶体管属场效应晶体管的一种,全部用蒸发工艺制造,半导体层为多晶
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