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面对４Ｍｂ ＤＲＡＭ工艺对氮化钛阻挡层的展望。
TiN—优质的阻挡层
【摘 要】
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面对４Ｍｂ ＤＲＡＭ工艺对氮化钛阻挡层的展望。
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1995年6期
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