多元素离子同步注入及离子束动态混合时元素表面层分布的计算机模拟

来源 :佳木斯大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:software222
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增加了靶表面不断沉积的过程以及研究动态混合。放宽了原程序适于三元靶的限制,这样就可以对合金靶的离子注入,动态混合表面改性以及多元素同时注入的过程模拟(这些都是材料表面改性领域正在研究的课题)。对原程序的结构作了局部修改后模拟计算了表面改性表面的一些实例,并给出了改性层在元素分布方面的持征。
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