【摘 要】
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本文首先介绍了金刚石薄膜独特而优异的性能:硬度最高,耐摩擦性好,热导率高,热膨胀系数小,抗热冲击性好;从紫外到远红外有较高的适光性;化学稳定性高,抗化学腐蚀性能好等等
【机 构】
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航天工业总公司三院八三五八所,航天工业总公司三院八三五八所,航天工业总公司三院八三五八所,
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本文首先介绍了金刚石薄膜独特而优异的性能:硬度最高,耐摩擦性好,热导率高,热膨胀系数小,抗热冲击性好;从紫外到远红外有较高的适光性;化学稳定性高,抗化学腐蚀性能好等等。随后,综述了目前低压化学汽相沉积(CVD)金刚石薄膜研究进展情况,包括沉积技术和薄膜质量。就金刚石薄膜在红外末制导系统
In this paper, the unique and excellent properties of diamond films are introduced firstly: the highest hardness, good friction resistance, high thermal conductivity, small thermal expansion coefficient, good thermal shock resistance, high photoluminescence from ultraviolet to far infrared, chemical stability High, anti-chemical corrosion and so on. Subsequently, the current research progress of low pressure chemical vapor deposition (CVD) diamond films, including deposition technology and film quality, is reviewed. Diamond film in the infrared end guidance system
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