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目的了解靶材成分对磁控溅射PTFE薄膜性能的影响，以提升PTFE薄膜疏水性能。方法采用射频磁控溅射技术，在玻璃基片上一步制备了透明超疏水聚四氟乙烯薄膜，并研究了不同PTFE靶材对薄膜的影响。利用x射线光电子能谱仪（XPS）、接触角测试仪（DropMeter）、紫外．可见分光光度计（UV-Vis）分别对靶材和薄膜的性能进行研究。结果两靶材的氟碳官能团含量有明显差异，且靶材1含有cF20，靶材2中不舍。靶材的成分影响了PTFE的溅射率，靶材1的溅射率为靶材2的2倍。相同溅射时间下。靶材不同的薄膜厚度不同，从而