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采用溶胶一凝胶法和二氧化硅粒子掺杂共混法分别制备了聚酰亚胺，si02杂化膜和纳米复合膜．采用红外分光光度计（FTIR）、热重分析仪（TCA）和透射电镜（TEM）表征了所制备膜的结构微观形态和热性能并进行分析对比，结果表明在杂化膜中SiO2在聚酰亚胺基体中可以形成分子级分散，复合膜表现出较强的吸湿性使其热分解温度较低．研究认为，采用溶胶一凝胶法制备聚酰亚胺，SiO2介电材料更为合理．