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对高精度线性平行扫描光束发生器提出了新的优化设计思想。在30mm的扫描区域内获得了扫描光束线性误差小于0.18μm,平行性误差小于0.37″的高精度的设计结果。
高精度棱透镜光束扫描器设计
【摘 要】
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对高精度线性平行扫描光束发生器提出了新的优化设计思想。在30mm的扫描区域内获得了扫描光束线性误差小于0.18μm,平行性误差小于0.37″的高精度的设计结果。
【机 构】
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长春光学精密机械学院,长春光学精密机械学院
【出 处】
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兵工学报
【发表日期】
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1993年3期
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