【摘 要】
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Aerotech推出的高精度、开放式框架、热稳定性好振镜可用于各种激光加工和刻蚀应用。这款新型Nmark AGV-HPO扫描振镜在视野范围内可达到几个数字位、微米级的精度,如果与Aero
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Aerotech推出的高精度、开放式框架、热稳定性好振镜可用于各种激光加工和刻蚀应用。这款新型Nmark AGV-HPO扫描振镜在视野范围内可达到几个数字位、微米级的精度,如果与Aerotech的Nmark CLS扫描器配合使用,则能够提供超过24位分辨率的业界领先精度。AGV-HPO位置传感器具有极低的热增益漂移性能,从而在需要长时间才能完成的复杂、高密度激光
Aerotech’s high-precision, open-frame, thermally stable galvo mirrors are used in a variety of laser processing and etching applications. The new Nmark AGV-HPO scanning galvanometer can achieve several digit positions in the field of view. Micrometer accuracy, if used with Aerotech’s Nmark CLS scanner, provides industry-leading accuracy of over 24 bits. The AGV-HPO position sensor features extremely low thermal gain drift to allow for complex, high-density lasers that take a long time to complete
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