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在金属/绝缘层/金属(Metal/Insulator/Metal,MIM)隧道绍发光中,粗糙度与表面等离电磁量子(SurfacePlasmonPolariton,SPP)的耦合起着非常重要的作用,本文利用原子力显微镜摄得发光MIM隧道结粗糙表面的照片,研究了粗糙度分布的统计结果与测得的发光光谱之间的关系。