适合工艺计算机辅助设计的半导体圆片表示

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Jingle2008

【摘要】

：

适合工艺计算机辅助设计的半导体圆片表示＝ＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｗａｆｅｒｒｅｐｒｅｓｅｎｔａｔｉｏｎｆｏｒＴＣＡＤ［刊，英］／Ｇｉｌｅｓ，Ｍ．Ｄ．…ＩＥＥＥＴｒａｎｓ．Ｃｏｍｐ．Ａｉｄ．Ｄｅｓ．Ｉｎｔ．Ｃｉｒｃ．Ｓｙｓｔ．－１９９４，１３（１）．... Semiconductor wafer suitable for process-computer-aided design = Semiconductor WaferrepresentationforTCAD [Jour

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

1994年06期

【关键词】

：

圆片计算机辅助设计软件开发器件模拟

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