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本文介绍了用ＬＩＧＡ技术制作微细金属图形的原理及工艺过程，讨论了影响金属图形质量的因素，同时报导了国家同步辐射实验室用ＬＩＧＡ技术研究微细金属图形的结果。
LIGA技术制作微细金属图形的研究
【摘 要】
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本文介绍了用ＬＩＧＡ技术制作微细金属图形的原理及工艺过程，讨论了影响金属图形质量的因素，同时报导了国家同步辐射实验室用ＬＩＧＡ技术研究微细金属图形的结果。
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
【基金项目】
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国家自然科学（青年）基金
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