光栅计量装置中离焦误差的控制

• 作 者: 廖兆曙 陶景光 杨坤涛
• 机 构: 华中理工大学光学工程系!武汉,430074,华中理工大学光学工程系!武汉,430074,华中理工大学光学工程系!武汉,430074
• 出 处: 应用光学
• 发表日期: 1994年01期
• 关键词: 计量装置 莫尔条纹 离焦量 栅距 成像系统 放大倍率 方向角 方向变化 定位精度 光学计

探讨光栅成像式莫尔条纹计量装置中离焦误差的影响，提出用莫尔条纹方向的稳定性来提高光栅定位精度的方法。

The influence of the defocus error in grating moiré streak metering device was discussed. The method to improve the grating positioning accuracy by using the moiré streak direction stability was proposed.