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利用纳米压痕仪测量了硅基二氧化硅薄膜的纳米力学性质,分析得到二氧化硅薄膜厚度约1100nm;并利用连续刚度测量法得到不同压入深度二氧化硅硬度及弹性模量随压深的变化关系,分析得到热氧化生长的二氧化硅薄膜成膜质量较好,且二氧化硅薄膜硬度约9GPa,弹性模量约75-80GPa.
二氧化硅薄膜纳米力性质研究
【摘 要】
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利用纳米压痕仪测量了硅基二氧化硅薄膜的纳米力学性质,分析得到二氧化硅薄膜厚度约1100nm;并利用连续刚度测量法得到不同压入深度二氧化硅硬度及弹性模量随压深的变化关系,
【机 构】
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010051,内蒙古工业大学理学院 内蒙古 呼和浩特
【出 处】
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数字化用户
【发表日期】
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2017年47期
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