封闭磁场溅射(CFS)设备介绍

来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:PLMM1986
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1.导言 在真空容器里用蒸发金属的方法然后在被镀工件上凝结蒸气以实现在塑料上镀铝,这一直是可能的,然而较高熔点的金属尤如铬和不锈钢用这种工艺便出现了问题。这是因为由于来自蒸发源的辐射热以及金属蒸汽凝结在它的表面所产生的热量可能使塑料基体受到热损伤,此外这些金属? 1. Introduction It is always possible to evaporate metal in a vacuum vessel and then condense the vapor on the workpiece to be plated onto the plastic, whereas higher melting metals, such as chromium and stainless steel, are used in this process something is wrong. This is because the heat generated by the radiant heat from the evaporation source and the condensation of the metal vapor on its surface may cause thermal damage to the plastic matrix. In addition,
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