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采用感光溶胶-凝胶法,在ITO/石英基板上制备了具有紫外感光性的PZT前驱溶胶及凝胶薄膜.利用薄膜自身的感光性,采用He-Cd紫外激光双光束干涉和二次曝光工艺,结合有机溶剂溶洗和600℃,15min热处理,制备了点阵周期为1μm,阵列格点尺寸为480nm×480nm×40nm的PZT薄膜阵列.并将原子力显微镜(AFM)和铁电测试仪联用,采用具有导电涂层的探针,通过扫描获得铁电阵列的三维图像.据此图像,把探针定位于特定的微小格点上,由铁电仪通过AFM探针提供电压,并经探针将测试信号反馈给铁电仪,以获得