【摘 要】
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研制了1台紫外真空空间滤波器,用以改善MOPA前端KrF激光的光束品质和有效地将种子光注入预放大器,并根据注入预放大器的光程需要,在大气中将KrF种子光传输了35m,将种子光的发
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研制了1台紫外真空空间滤波器,用以改善MOPA前端KrF激光的光束品质和有效地将种子光注入预放大器,并根据注入预放大器的光程需要,在大气中将KrF种子光传输了35m,将种子光的发散角由0.34mrad减少到0.2mrad,并使得光束的均匀性得到改善,为注入预放大器打下了良好的基础。空间滤波
A UV vacuum space filter was developed to improve the beam quality of the front-end KrF laser and to effectively inject the seed light into the pre-amplifier. According to the optical path of the pre-amplifier, KrF seed light was transmitted in the atmosphere by 35m , Reducing the divergence angle of the seed light from 0.34 mrad to 0.2 mrad and improving the uniformity of the light beam, laying a good foundation for injecting the preamplifier. Spatial filtering
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