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采用扫描电镜观察了金刚石薄膜的表面组织形貌，使用电子背散射衍射（EBSD）技术检测了金刚石薄膜中的微区孪晶界分布。从晶体取向的角度研究了孪晶对金刚石薄膜微观织构影响的机理。结果表明，金刚石薄膜中存在大量孪晶，在薄膜生长过程中孪晶界比例逐渐增加。存在高阶孪晶转变现象，高频率孪晶会影响到薄膜的织构。