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SR很早就被称为下一代电子器件蚀刻用的新光源。虽然迄今为止有很多问题,但是以超导小型同步加速器装置为首,利用了X射线掩模等关键技术,从而提高了试制器件的合格率。这不仅对半导体技术,而且对医疗应用方面产生了很大影响。本文概述最近的技术动向和今后的发展。
同步辐射技术的发展
【摘 要】
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SR很早就被称为下一代电子器件蚀刻用的新光源。虽然迄今为止有很多问题,但是以超导小型同步加速器装置为首,利用了X射线掩模等关键技术,从而提高了试制器件的合格率。这不仅
【出 处】
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光机电世界
【发表日期】
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1994年11期
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