PECVD PM塔多变量控制系统的设计研究

来源 :中国机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mzl521fnn1314

【摘要】

：

摘要：本文介紹了PECVD PM塔的温度控制系统设计。作者提出了一种既能减小系统非线性，又能减小变量之间耦合的新的控制方案。在此基础上，将PECVD PM塔的温度控制系统视为10输入和10输出的线性被控对象，应用逆乃氏阵列法对系统进行了分析与设计。整个系统采用PLC系统控制。文中还给出了实验结果。　　关键词：PECVD；多变量控制；系统设计；逆乃氏阵列法；PLC控制

【作者】

：

曹阳王慧慧陈金元

【出处】

：

中国机械

【发表日期】

：

2014年24期

【关键词】

：

PECVD 多变量控制系统设计逆乃氏阵列法 PLC控制

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

　　摘要：本文介紹了PECVD PM塔的温度控制系统设计。作者提出了一种既能减小系统非线性，又能减小变量之间耦合的新的控制方案。在此基础上，将PECVD PM塔的温度控制系统视为10输入和10输出的线性被控对象，应用逆乃氏阵列法对系统进行了分析与设计。整个系统采用PLC系统控制。文中还给出了实验结果。
　　关键词：PECVD；多变量控制；系统设计；逆乃氏阵列法；PLC控制

其他文献

计算机辅助优化排样中冲裁步距计算的新方法

普通单排优化排样中冲裁步距的计算非常关键。基于“多边形最宽处必过其某一凸顶点”这一原理，这里改进了冲裁步距的计算方法，提高了冲裁步距的计算速度，并保证了得到最优解。

期刊

优化排样冲裁步距计算CADOptimum layout Blanking step

自动光学检测系统（AOI）的原理及应用

摘要：主要介绍AOI的工作原理、技术模块以及其在PCB检测上的应用。　　关键词：AOI，PCB，检测作用.　　随着集成电路的迅猛发展及特殊电子元器件的不断出新，从而促使PCB技术发生相应的转变。由于PCB产品也向着高密度、超薄型、细间距，小元件的方向发展，这样导致线路板上的元器件组装密度要求提高，PCB板上的线宽、间距、焊盘越来越细，现已经达到微米级，相应板的层数也越来越多。因而传统的人工目视检

期刊

AOIPCB检测作用

布袋除尘器使用问题及改进研究

分析了我国高污染行业普遍使用的布袋式除尘器在使用中存在的主要问题，结合工作经验，提出了针对性的合理化建议，为此类除尘器改造与设计提供参考。

期刊

布袋除尘器布袋式除尘器合理化建议污染行业工作经验

基于客户沟通与设计评审的模具设计知识管理系统

摘要：在经济技术高速发展的现代社会，模具企业不再只是一种纯技术性的工作了，现代化的模具企业对于管理的要求更加严格。在对模具设计的相关的理论方面进行了分析和研究，得出了一个关于模具知识的管理体系，这个管理体系是从模具企业在和客户进行交流协商和设计评估这个方面作为出发原则的。有了模具设计知识管理体系，就可以把在模具设计工作当中关于模具的基础设计、设计的基本原则、设计参考的实例和设计的实际应用领域进行一

期刊

模具设计知识管理客户沟通

某钢厂HC冷轧机乳化液过滤系统研究与改进

摘要：简述某钢厂单机架冷轧机乳化液系统的情况，就该乳化液过滤系统存在的磁过滤机问题、乳化液平床过滤器问题进行分析改进，改造后提高了乳化液过滤系统过滤效率，提升了乳化液各项经济指标，取得良好效果。　　关键词：HC单机架轧机；磁粉过滤机；磁棒；刮轮；平床过滤器　　1. 前言　　乳化液系统是轧机的重要辅助系统，起到冷却、润滑以及进行精细板形控制的作用，乳化液过滤系统是乳化液高清洁度、严格铁粉含量控制、

期刊

乳化液系统过滤系统冷轧机钢厂HC磁过滤机分析改进过滤效率

造假、治假的非合作博奕分析

简要介绍了我国假冒伪劣产品的现状及其带来的危害.应用非合作博奕理论,通过建立博奕模型,分析了假冒伪劣产品产生的根源和治理对策,并给出了对执法打假部门相应的奖励系数和

期刊

假冒伪劣博奕奖励系数罚款系数information asymmetry game theory encouraging coeff icient

摆线锥齿轮机床调整参数对啮合性能作用分析

基于克林根贝尔格(K lingelnberg)摆线锥齿轮的对滚模型，利用轮齿接触区预报公式，对几个重要的机床调整参数关于啮合性能的作用敏感性进行定量分析，并进行了实例仿真验证。

期刊

克林根贝尔格摆线锥齿轮敏感性机床调整参数啮合性能Klingelnberg spiral bevel gearscontactsensitivive

PECVD PM塔多变量控制系统的设计研究

其他学术论文