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提出了一种基于复合工作液的以电火花电解复合加工技术对太阳能硅片进行切割及制绒一体化的新方法。试验表明高速走丝电火花线切割（WEDM-HS）对太阳能硅片切割具有效率高、厚度薄、切缝窄、表面可直接形成绒面结构，表面无明显微裂纹且切割表面不存在电极丝金属残余；在硅表面放电凹坑内由于高温电解复合作用会形成密集、壁面光滑且高深径比的微孔洞结构；绒面结构不受硅材料特别是多晶硅各向同性的影响，且获得的表面反射率略低于目前制绒方法的表面等特性。