RF—PECVD聚合类聚乙烯氧(PEO—like)薄膜及其对血小板吸附性研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jack607
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本文采用平板式电容耦合射频(RF,13.56MHz)等离子体源,以乙二醇二甲基醚(Ethylene Glycol DiMethyl Ether)为聚合单体,氩气为辅助气体,在连续与脉冲射频等离子体两种放电模式下合成类聚乙烯氧(PEO-like)功能聚合薄膜。实验研究了等离子体放电参数:等离子体放电功率、工作气压、放电模式(连续或脉冲)和聚合时间等对聚合物表面结构、功能团含量、表面成分性能以及和血小板吸附等影响。利用接触角测定仪(WCA)、傅里叶变换红外光谱(FIIR)、原子力显微镜(AFM)等手段对聚合薄
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