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以硅、二氧化硅为硅源探讨了水热沉积条件下原料对硅氧化物纳米球形成的影响。实验表明，硅、二氧化硅的混合物在水热沉积硅氧化物纳米球时效果最好，所得纳米球直径小、分布较均匀；仅以硅为原料时所得球状结构尺寸大，直径分布范围宽；仅以二氧化硅为原料时则得不到球状结构。二氧化硅对于硅氧化物纳米球的形成起到了重要作用。