【摘 要】
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本文是从扫描电子显微镜的成像原理出发,推导了有关阐明二次电子像理论分辨率的公式。从此公式及其分析结果表明,提高扫描电子显微镜分辨率的有效途径是:1.改善透镜结构的设
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本文是从扫描电子显微镜的成像原理出发,推导了有关阐明二次电子像理论分辨率的公式。从此公式及其分析结果表明,提高扫描电子显微镜分辨率的有效途径是:1.改善透镜结构的设计;2.发展对弱信息的新的测量技术。如果把信噪比降低到10以下而仍能保证图像的质量,则扫描电子图像的分辨率将可达几个的水平。
Based on the imaging principle of scanning electron microscope, this paper deduces the formula for clarifying the theoretical resolution of secondary electron image. From this formula and its analysis results show that the effective ways to improve the resolution of scanning electron microscope are: 1. To improve the design of the lens structure; 2. To develop new measurement techniques for weak information. If the signal to noise ratio is reduced to below 10 and still guarantee the quality of the image, the resolution of the scanned electronic image will be up to several levels.
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