【摘 要】
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采用直流磁控反应共溅法制备了非磁性元素A1和磁性元素Co掺杂的ZnO薄膜,样品原位真空退火后再空气退火处理.利用X射线衍射仪(XRD)和物理性能测量仪(PPMS)对薄膜的结构和磁性
【机 构】
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河北民族师范学院物理系,河北省新型薄膜材料重点实验室,河北师范大学物理科学与信息工程学院,
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采用直流磁控反应共溅法制备了非磁性元素A1和磁性元素Co掺杂的ZnO薄膜,样品原位真空退火后再空气退火处理.利用X射线衍射仪(XRD)和物理性能测量仪(PPMS)对薄膜的结构和磁性进行了表征.XRD和PPMS结果表明,不同的退火氛围对掺杂薄膜的结构和磁性有着很大的影响.真空退火的Al掺杂ZnO薄膜没有观察到铁磁性,而空气退火的样品却显示出明显的室温铁磁性,铁磁性的来源与空气退火后导致Al和ZnO基体间电荷转移增强有关.而对于Co掺杂ZnO薄膜,真空退火后再空气退火,室温铁磁性明显减弱.其磁性变化与Co离子和ZnO基体间电荷转移导致磁性增强和间隙Co原子被氧化导致磁性减弱有关.
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