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本文首次利用MEI方法计算了多层介质多层介质多导体互连的电容和电感矩阵。由于引入了测试环的概念,避免了多层结构的格林函数的推导和Sommerfeld积分的计算,同时也去年了传统MEI方法中MEI系数与几何形状有关的假设。计算结果表明:本文提出了算法正确,与常见的算法如矩量法,边界元法和有限元法等方法相比,计算速度大大加快,并且对结构的适应性强,可以分析截面为任意形状且导体有耗的互连,因此该方法是一