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利用俄歇电子谱仪对作为深度剖面分析定标用的Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>/Ta标样在溅射过程中的行为进行了分析。标样为阳极氧化工艺制成,厚度为500（?）。分析证明,在溅射过程中,样品内的元素组份及化学状态均相应发生明显变化,并可将全过程划分为三个阶段。本文还对利用该标样作剖面分析分辨能力的确定及标样长期贮存性能的可能变化作了讨论。