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来源 :压电与声光 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
石英微机电陀螺是一种利用科里奥利(Coriolis)效应的振动陀螺,工作时敏感芯片处于谐振状态,机械耦合误差是其主要误差源。分析了敏感芯片机械耦合误差因素,提出了驱动与检测模
【作 者】
:
林日乐
李文蕴
张桐
谢佳维
蒋昭兴
满欣
江黎
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第二十六研究所
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
2018年4期
【关键词】
:
石英
微机电陀螺
机械耦合误差
quartz
MEMS gyroscope
mechanical coupling error
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