【摘 要】
：
针对二氧化锡薄膜常用的两种生长方法——等离子增强化学气相沉积（ＰＥＣＶＤ）及溅射／蒸发生长的不同特点，分别采用了两种不同的剥离工艺方案，由此实现了与ＩＣ加工工艺兼容良好的ＳｎＯ＿２薄膜成形技术。
论文部分内容阅读
针对二氧化锡薄膜常用的两种生长方法——等离子增强化学气相沉积（ＰＥＣＶＤ）及溅射／蒸发生长的不同特点，分别采用了两种不同的剥离工艺方案，由此实现了与ＩＣ加工工艺兼容良好的ＳｎＯ＿２薄膜成形技术。
According to the different characteristics of two kinds of growth methods, PECVD and Sputtering / Evaporation, which are commonly used in SnO2 thin film, two different stripping process schemes were respectively used, Compatible with good SnO_2 film forming technology.
其他文献
清明前的一天,我来到闽北红色之旅景点光泽县中山台烈士陵园正中的一个墓前。墓旁高高耸立的革命烈士纪念碑,是那么肃穆、庄严,青松翠柏团团守护着这里长眠的巍巍英魂。这里
系统性红斑狼疮(SLE)是一种自身免疫性疾病,可以累及多系统多脏器。本病的发病机制尚未明确,免疫因素是影响其发病的重要因素之一,表现为患者体内免疫系统失衡,T、B淋巴细胞
目的探讨急性心肌梗死(AMI)并发脑梗死的诊断与治疗。方法于1996年6月至2006年6月,共收治 AMI 264例,其中14例并发脑梗死,分析 AMI 并发脑梗死的发生、诊治及预后。结果本组8
落叶松是我国主要速生树种之一。它栽植容易、适应能力强,成活率高、生长快、成材早,材质好,工艺价值高,是枕木、矿柱、电杆、桥梁以及造船和地下建筑用材的上乘材料;同时又
开展国际中转箱运输是确立国际航运中心重要标志之一。 日前,就我国沿海大多数港口而言,仍然只是亚洲地区一些港口的喂给港。以上海港为例,1995年国际集装箱吞吐量153万标箱
本文结合哈同公路牡丹江钢管混凝土拱桥工程实例，重点介绍了管芯混凝土的泵送顶升浇灌法施工工艺及要点和采用“双掺”技术途径，使用普通水泥与地产砂石材料和不改变混凝土的常
我国的港口作为发展国民经济的基础性设施,在近20年来为推动改革开放政策的实施和经济快速发展发挥了巨大的作用。港口建设资金由预算拨款逐步改变为“拨改贷”,到财务包干的
改革开放的大潮,给舟山的经济、社会发展注入了新的活力。1994年,全市国内生产总值达58.7亿元,比上年增长20％;工农业总产值为112.3亿元,比上年增长32.4％;全市城乡人民收入增加,
毛白杨是我省主要造林树种之一,它生长快,材质好,适应性强,深受群众喜爱。但多年来毛白杨良种化进程缓慢,使我省的毛白杨造林一直存在着品种优劣混杂,造林效益较低的问题。
抚宁县石门寨乡前水营村,有一棵罕见的大白果树,学名银杏树,胸围7.28米,树高12.5米,至今枝繁叶茂,每年结果100多公斤,
Funing County Shimen Zhaixiang Qianshui Yingcun,