【摘 要】
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一、引言 能量色散谱仪(EDS)原来是一种核物理分析设备。由于半导体检测器制造和微信号低噪声电子学技术的进步,EDS的分辨率(谱线半高宽)由60年代的300ev提高到70年代的150e
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一、引言 能量色散谱仪(EDS)原来是一种核物理分析设备。由于半导体检测器制造和微信号低噪声电子学技术的进步,EDS的分辨率(谱线半高宽)由60年代的300ev提高到70年代的150ev,能对Al、Si这类较轻的元素的X射线谱作出明确的鉴别,因此从70年代开始,EDS被大量地用作荧光X射线分析和组装到扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)及扫
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