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一种带保护环的平面InGaAsP APD
一种带保护环的平面InGaAsP APD
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:originalwinter
【摘 要】
:
<正> 日本富士通研究所研制出带保护环的平面InGaAsP APD作为长波长光通信系统的探测器件。该器件采用InGaAsP异质结构,在InP上形成Pn结,以获得高量子效率。为了确保器件的可
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
InGaAsP APD
保护环
APD
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<正> 日本富士通研究所研制出带保护环的平面InGaAsP APD作为长波长光通信系统的探测器件。该器件采用InGaAsP异质结构,在InP上形成Pn结,以获得高量子效率。为了确保器件的可靠性,从钝化容易出发采用了平面方式。这样一来,为了抑制管子四周
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