基于频率灵敏度方法的宏微运动平台连接架结构优化

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xkt376
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连接架与驱动设备频率相近而发生共振,将影响宏微运动平台的稳定工作和超精密定位的实现.为避免共振,本文以连接架为研究对象,搭建连接架固有频率有限元分析模型,并对有限元模型进行实验验证.然后,基于频率灵敏度方法对有限元模型结构参数进行摄动,通过分析刚度和第1阶固有频率对结构参数的灵敏度,进行设计变量选择,再以连接架质量为约束条件,将连接架第1阶固有频率倒数作为目标函数,对连接架优化模型进行优化并进行实验验证.通过优化,连接架第1阶固有频率得到了有效的提高,避免了连接架与音圈电机发生共振,从而为宏微运动平台稳定工作和超精密定位提供可靠依据. In order to avoid the resonance, this paper take the connector as the research object, and build the natural frequency finite element analysis model of the connector, and then, The finite element model is validated experimentally.Furthermore, the structural parameters of the finite element model are perturbed based on the frequency sensitivity method, the design variables are selected by analyzing the sensitivity of the stiffness and the first-order natural frequency to the structural parameters, Constraints, the first natural frequency of the connection frame as the objective function of reciprocal optimization of the connector optimization model and experimental verification.After optimization, the first natural frequency of the connection frame has been effectively improved to avoid the connection frame and sound The resonance of the ring motor provides a reliable basis for the stable operation and ultra-precision positioning of the macro-micro movement platform.
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