角度干涉测量

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一、前言目前的典型工业精密角度测量,要求1″的绝对准确度,通常要用一些众所周知的标准,如度盘、正弦尺、旋转编码器等来测量。这种较高准确度的测量和上述各标准的检定,都需要用计算机控制的角度测量系统。这种测量系统有0.25″或更高的准确度和宽的量限。近20年来, I. INTRODUCTION Today’s typical industrial precision angle measurement requires an absolute accuracy of 1 “, which is usually measured using some well-known standards such as dials, sine scales, rotary encoders, etc. This higher accuracy of measurement Verification of each of these standards requires a computer-controlled angle measurement system that has a 0.25 ”or greater accuracy and a wide range of gauges. In the past 20 years,
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