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采用磁控溅射技术在不同溅射功率下制备了系列TiO2薄膜,并对薄膜的晶体质量、表面形貌、紫外-可见光吸收性能以及光催化性能进行了详细表征和对比。结果发现,随溅射功率增大,薄膜的结晶性能变好且内应力得到释放,薄膜表面晶体颗粒增大且表面积增加,紫外-可见吸收带边向长波长方向移动,这些因素的综合作用有利于提高薄膜的光催化性能。