制氟电槽爆鸣原因分析及消除方法

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分析了SF6生产工艺中制氟电槽产生爆鸣的原因:H2与O2相混、H2与F2相混、F2与其它物质反应。从工艺控制和工艺技术改造方面提出了消除爆鸣的方法。
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