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发射光谱法测定ITO透明导电膜的Sn/In
发射光谱法测定ITO透明导电膜的Sn/In
来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jianjfs
【摘 要】
:
本文采用运动电极,火花激发,讨论了膜样品分析中标样和分析样品的一致性,介绍了选用多个样品叠加摄谱对ITO膜中Sn/In浓度比的测量。结果表明分析方法的精密度和准确度满足分析要求。
【作 者】
:
郭庆林
杨志平
【机 构】
:
河北大学物理系,河北大学固体发光研究室
【出 处】
:
光谱学与光谱分析
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
发射光谱法
ITO透明导电膜
ITO膜
锡铟浓度比
Emission spectral method
ITO film
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本文采用运动电极,火花激发,讨论了膜样品分析中标样和分析样品的一致性,介绍了选用多个样品叠加摄谱对ITO膜中Sn/In浓度比的测量。结果表明分析方法的精密度和准确度满足分析要求。
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