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【摘 要】
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测试的 Microbridge 被用来测量幼仔的模量和金属性的电影的剩余应力。独立 NiFe 的样品拍摄微桥牌被制作 bymicroelectromechanical 系统。特殊的陶器的柄结构被设计解决得
【机 构】
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KeyLaboratoryforThinFilmandMicrofabricationTechnologyofMinistryofEducation,StateKeyLaboratoryofNonli
【出 处】
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材料科学技术学报：英文版
【发表日期】
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2006年3期
【基金项目】
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This work was supported by the Key Fundamental Research and Development Program （G1999033103）, and partly supported bY the National Natural Science Foundation of China under Grant Nos. 50275096 and 10
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