【摘 要】
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利用锆石墨消气剂可以解决溅射中惰性气体高纯度保持的问题，这对于需要溅 射气压低，又要求淀积薄膜纯度高的情况是很重要的。
The use of Zircon graphite gas getter can sol
【机 构】
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北京大学无线电系,北京大学无线电系
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利用锆石墨消气剂可以解决溅射中惰性气体高纯度保持的问题，这对于需要溅 射气压低，又要求淀积薄膜纯度高的情况是很重要的。
The use of Zircon graphite gas getter can solve the problem of high purity of inert gas during sputtering, which is very important for low sputtering pressure and high purity of deposited film.
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