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提出了利用气浮均化技术提高测量基准的设想,依照气体静压理论设计了300mm×400mm气浮测量板;并作了两种检测方法的对比检测试验.该技术提高了测量基准精度,消除了测量过程中的摩擦力,可极大地提高超精密工件的检测精度.
利用气浮均化技术提高测量基准精度的研究
【摘 要】
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提出了利用气浮均化技术提高测量基准的设想,依照气体静压理论设计了300mm×400mm气浮测量板;并作了两种检测方法的对比检测试验.该技术提高了测量基准精度,消除了测量过程中
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
：
航空精密制造技术
【发表日期】
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2004年期
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