【摘 要】
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声表面波(SAW)器件以其优良的性能广泛应用于雷达、通讯和日常用品等领域.然而,随着器件工作频率的不断升高,温度对器件频率稳定性的影响也越来越严重.因此,研究声表面波器件
【机 构】
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华中科技大学力学系,武汉,430074;工程结构分析与安全评定湖北省重点实验室,武汉,430074
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声表面波(SAW)器件以其优良的性能广泛应用于雷达、通讯和日常用品等领域.然而,随着器件工作频率的不断升高,温度对器件频率稳定性的影响也越来越严重.因此,研究声表面波器件的温度效应,并在变温情况下保持SAW器件的频率稳定性至关重要.论文采用增量型的拉格朗日方程分析受温度影响的声表面波频率漂移问题.用频率-温度系数(TCF)作为评价频率-温度行为的标准.设计了一个具有温度补偿层的双层SAW谐振器模型,降低了器件的频率-温度系数.通过尺寸优化,LiNbO3-AlN结构的SAW谐振器在25℃(参考温度)下的频率-温度系数TCF接近0 ppm/℃.SAW谐振器的波长为4μm,谐振频率为1214.9 MHz.
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