【摘 要】
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业已用成品率极高的平面离子注入和全反应离子腐蚀(RIE)工艺制作了一个高性能X波段单片功率放大器。采用RIE/WET(反应离子腐蚀/湿法腐蚀)工艺制成独特的栅凹槽腐蚀剖面,改进
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业已用成品率极高的平面离子注入和全反应离子腐蚀(RIE)工艺制作了一个高性能X波段单片功率放大器。采用RIE/WET(反应离子腐蚀/湿法腐蚀)工艺制成独特的栅凹槽腐蚀剖面,改进了器件的性能。用此法做成的两级功率放大器,在9.5GHz下,最大输出功率为2.5W(平均功率密度为0.69W/mm),相关增益为9.4dB,最佳功率附加效率为30％。采用这种全RIE干法腐蚀工艺,使该放大器的全部直流参数合格率从20％提高到30％。
A high performance X-band monolithic power amplifier has been fabricated using planar ion implantation and total reactive ion etching (RIE) at very high yield rates. The RIE / WET (Reactive Ion Etching / Wet Etching) process is used to create a unique gate-groove corrosion profile that improves device performance. The two-stage power amplifier made by this method has a maximum output power of 2.5W (average power density of 0.69W / mm) at 9.5GHz, a correlation gain of 9.4dB and an optimum power added efficiency of 30%. With this full RIE dry etch process, the amplifier’s full dc pass rate is increased from 20% to 30%.
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