【摘 要】
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现代的电子和光子器件都是小特征尺寸的固体结构.在制造和使用中,扩散过程能够重置物质,因此结构随时间演化.薄膜可能破裂成小滴(droplets),导线上可能长出孔穴.人们早就知道
【机 构】
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Mechanical and Aerospace Engineering Department,南京航空航天大学航空宇航学院,中国科学院力学研究所,MAE Dept.
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现代的电子和光子器件都是小特征尺寸的固体结构.在制造和使用中,扩散过程能够重置物质,因此结构随时间演化.薄膜可能破裂成小滴(droplets),导线上可能长出孔穴.人们早就知道应力和电流是驱动这些变化的力.这些力尽管重要,但越来越多的事实表明,它们不足以说明各种不同的试验现象,这说明其它物理来源的力也起作用.在结构中,原子、电子和光子的集体作用都对结构的自由能作出贡献.结构一旦改变其构形,其自由能也发生变化.自由能的改变定义了一种热力学的力,它反过来驱动结构的构形变化.本文通过一些特别的现象来阐明这些概念.重点放在不同来源的力的物理描述上,这些来源包括弹性、静电、毛细作用、电流、成分梯度、光子散射和电子约束.其中一些力的作用在小特征尺寸例如几nm到几百nm的结构中尤为重要.随着仪器的小型化,对这些力的认识变得日益重要.这一领域的研究极有希望带来固体力学的革新.
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