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提出了单层微桥法厚度极限的估算方法，并提出在单层NiFe薄膜微桥法测试基础上，对厚度不适于单层微桥法的Cu薄膜，采用Cu／NiFe／Cu3层微桥法来测量其力学性能。采用MEMS技术加工了NiFe争Cu／NiFe／Cu微桥，采用纳米压痕仪测量了其载荷-挠度关系，实现了对Cu薄膜力学性能的测量。
三层微桥法测量金属薄膜力学性能的研究
【摘 要】
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提出了单层微桥法厚度极限的估算方法，并提出在单层NiFe薄膜微桥法测试基础上，对厚度不适于单层微桥法的Cu薄膜，采用Cu／NiFe／Cu3层微桥法来测量其力学性能。采用MEMS技术加工了NiF
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与细微技术教育部重点实验室
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2008年6期
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