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来源 :矿冶工程 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
本文讨论了连续CVD Nb_3Sn层沉积速率与生产速率或带速之间的关系。研究了一定工艺条件下连续CVD层厚与沉积时间的线性生长关系和过渡层厚形成的抛物线规律与Nb_3Sn层生长的
【作 者】
:
陈国堂
吴裕生
【机 构】
:
长沙矿冶研究院,长沙矿冶研究院
【出 处】
:
矿冶工程
【发表日期】
:
1989年3期
【关键词】
:
超导体
NB3SN
化学气相沉积
Chemical vapor deposition
Nb_3Sn superconductor
Deposition rat
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