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为了研究高速滚珠丝杠进给伺服系统的动态特性，提出了一种建立进给系统机械子系统振动模型的混合建模方法，采用带有轴向和扭转自由度的欧拉一伯努利梁单元描述丝杠的轴向、扭转和弯曲振动，采用集中参数方法描述交流伺服驱动子系统和进给系统的其余部件，建立了包含摩擦、间隙非线性因素及外切削力干扰的柔性进给系统模型。实验证明了混合模型能够较准确反映机械系统的振动特性。在此基础上，数值仿真分析表明，低速运动中摩擦和间隙非线性会导致进给系统产生较大的速度波动，在高速运动中机械系统的轴向和扭转振动会导致进给系统不稳定。