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本文对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RFMEMS器件的特点、研究现状及其在射频收发模块中的应用进行了综述,并展望了它们未来的发展趋势.
RF MEMS器件的研究及其应用前景
【摘 要】
：
本文对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RFMEMS器件的特点、研究现状及其在射频收发模块中的应用进行了综述,并展
【机 构】
：
北京大学微电子学研究院
【出 处】
：
电子产品世界
【发表日期】
：
2003年9期
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