【摘 要】
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微机电系统(MEMS)是把微小的机械和电子功能集成在单一芯片上,虽然很难确切地讲何种功能可以通过MEMS实现,但这种技术已经在过去20年来得到广泛关注和应用。从汽车、计算机、
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微机电系统(MEMS)是把微小的机械和电子功能集成在单一芯片上,虽然很难确切地讲何种功能可以通过MEMS实现,但这种技术已经在过去20年来得到广泛关注和应用。从汽车、计算机、消费类电子产品,到工业控制、军事、医学应用,几乎所有应用领域都可见到MEMS技术的踪影。当今手机市场
Microelectromechanical systems (MEMS) are tiny mechanical and electronic functions integrated in a single chip, although it is difficult to exactly what kind of function can be achieved by MEMS, but this technology has been in the past 20 years has received widespread attention and application. From the automotive, computer, consumer electronics, industrial control, military, medical applications, MEMS technology can be seen in almost all applications. Today’s mobile phone market
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