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Be在机械加工中往往产生很大的残余应力。因而测试铍的残余应力显得尤为重要。影响X射线法测量应力精度的因素有两大类：测量方法的带来的影响和Be本身力学参数特点的影响。X射线衍射法需要无应力校准样。铍的结构和力学参数是各向异性，且较明显，各晶面弹性模量大，晶粒粗大，这些因素的存在导致结构上的不均匀性会直接影响测试结果。