三维重离子束分析显微镜

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日本政府研究院研制成一种三维、高速、重离子粒子显微镜对材料进行原位分析。与一般的离子束显微镜比较,该种重离子束分析增强了灵敏度、涤度分辨率、质量分离。该设备可以产生微米尺寸低兆电子伏特能级的光束,这种光束可以在试样小截面上进行辐射。该设备可以产生二 Japan Government Research Institute developed into a three-dimensional, high-speed, heavy ion particle microscope in situ analysis of the material. Compared with the general ion beam microscope, this kind of heavy ion beam analysis enhances the sensitivity, the degree of resolution and the mass separation. The device produces a beam of low-megabit electron volts in the micron size that can be radiated on small sections of the specimen. The device can produce two
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