反应自生成AIN传质过程的研究

来源 :东北大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:twesai
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根据反应自生成AIN的传质及生长特征,构造出传质模型,并建立了传质方程,分析表明,整个反应过程分AIN晶体生长并随Si元素富集及AINSicry晶体共生两个阶段进行了N原子的扩散传质速率是控制总反应速率的关键因素。
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