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嵌套参数控制图技术是适用于微电路生产的新型控制图技术之一。在介绍Ｘ－Ｓ控制图的基础上详尽叙述了嵌套参数控制图的原理、控制方法和应用情况。
嵌套参数控制图技术
【摘 要】
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嵌套参数控制图技术是适用于微电路生产的新型控制图技术之一。在介绍Ｘ－Ｓ控制图的基础上详尽叙述了嵌套参数控制图的原理、控制方法和应用情况。
【机 构】
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中国兵器工业第214研究所
【出 处】
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集成电路通讯
【发表日期】
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2000年2期
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